NEMS/MEMS (Nano/Micro-Electro-Mechanical System) Lab.
경북대학교 본교(제1캠퍼스) 전자공학부
조찬섭 교수
Solar Cell Fabrication
Energy Harvesting MEMS
Microfluidic Devices
경북대학교 본교(제1캠퍼스) 전자공학부 조찬섭 교수
NEMS/MEMS (Nano/Micro-Electro-Mechanical System) Lab은 전자공학부에 소속되어 있으며, 주로 스마트 센서 시스템, 표면증강 라만 분광법(SERS), 마이크로유체 장치, 태양전지 제조, 에너지 수확 MEMS 등의 연구를 수행하고 있습니다. 특히, 3차원 다공성 나노구조를 이용한 label-free SERS 기반 화학 및 생체의학 센서 구현과 같은 프로젝트를 한국연구재단과 협력하여 성공적으로 수행하였습니다. 또한, 산업통산자원부와 협력하여 나노 포러스 구조 바이오센서용 웨이퍼 재생기술 및 표면 요철화 기술 개발에도 기여하였습니다. 최근에는 폐 실리콘 웨이퍼를 활용한 태양전지용 실리콘 웨이퍼 및 texturing 공정 개발 프로젝트를 통해 고효율 태양전지 제조 기술을 선보였습니다. 이러한 연구 성과는 다양한 국제 학술지와 학회에서 발표되었으며, 실질적인 산업 응용 가능성을 높이고 있습니다.
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