산화물 박막트랜지스터 및 그 제조방법

산화물 반도체 소자의 제조 방법

산화물 반도체 소자 및 이의 제조 방법

산화물 반도체 조성물 및 이를 이용하는 산화물 반도체 박막/박막 트랜지스터 제조 방법

액상 공정용 조성물 그리고 이를 이용한 전자 소자 및 그 제조 방법

산화물 박막 후처리 방법, 및 그를 이용한 반도체 소자 제조 방법

산화물 박막 리페어 방법 및 산화물 박막 소자

게르마늄 도핑을 적용한 산화물 박막 형성 방법 및 산화물 박막 트랜지스터 제조 방법

진동 에너지를 이용한 박막 활성화 방법, 박막 트랜지스터 제조 방법 및 기판 처리 장치

전기 에너지를 이용한 박막 활성화 방법, 박막 트랜지스터 제조 방법 및 기판 처리 장치