PNU Plasma Research Center(플라즈마연구소)는 플라즈마 이론, 시뮬레이션, 소스 개발, 그리고 전력반도체 및 기체전자공학 분야에서 세계적인 연구 역량을 보유한 연구실입니다. 본 연구실은 플라즈마의 기본 물리 현상에 대한 심층적 이론 연구와 첨단 컴퓨터 시뮬레이션을 통해 다양한 플라즈마 응용 분야의 핵심 문제를 해결하고 있습니다. 특히, 반도체 공정, 디스플레이, 핵융합, 우주항공 등 첨단 산업에서 요구되는 플라즈마의 거동을 정밀하게 분석하고, 이를 바탕으로 새로운 공정 및 장치 개발에 앞장서고 있습니다. 연구실은 유도결합형(ICP), 용량성 결합(CCP), 대기압(APP) 등 다양한 플라즈마 소스의 설계 및 최적화, 그리고 이를 활용한 식각, 박막 증착, 표면처리, 오염제거, 의료용 장치 등 응용공정 연구에 집중하고 있습니다. 또한, 플라즈마 진단 및 제어 기술, VI 센서 개발, 플라즈마 특성 분석 등 정밀 계측 및 제어 기술도 함께 발전시키고 있습니다. 이러한 연구는 반도체, 디스플레이, 에너지, 환경, 바이오 등 다양한 산업 분야에서 혁신적인 솔루션을 제공하며, 차세대 첨단 제조기술의 기반을 마련하고 있습니다. 전력반도체 및 기체전자공학 분야에서는 SiC 트렌치 게이트 MOSFET, Ga2O3 박막, 고전압 전력 소자 등 차세대 전력반도체 개발과 신뢰성 평가에 중점을 두고 있습니다. 전력반도체는 전기자동차, 신재생에너지, 스마트그리드 등 미래 에너지 산업의 핵심 부품으로, 고효율·고내구성·고전압 특성을 갖춘 소자 개발이 필수적입니다. 연구실에서는 SiC/SiO2 계면 열화, 파워 사이클링 테스트, doping profile 최적화, MOSFET 구조 설계 등 다양한 실험 및 시뮬레이션 연구를 수행하고 있습니다. 이외에도, 본 연구실은 플라즈마 기반 신기술 개발의 기초를 제공하며, 원가 절감, 공정 효율 향상, 제품 신뢰성 증대 등 실질적인 산업적 효과를 창출하고 있습니다. 다수의 특허, 논문, 산학협력 프로젝트를 통해 국내외 산업계와의 긴밀한 협력을 이어가고 있으며, 차세대 반도체, 에너지, 환경, 바이오 등 다양한 분야에서 미래 산업의 혁신을 선도하고 있습니다. 앞으로도 PNU Plasma Research Center는 플라즈마 과학과 전력반도체 기술의 융합을 통해 첨단 산업의 발전과 국가 경쟁력 강화에 기여할 것입니다. 지속적인 연구개발과 인재 양성을 통해 글로벌 리더로서의 입지를 더욱 공고히 할 계획입니다.