SELF-ALIGNING PROCESS METHOD AND SELF-ALIGNING PROCESS APPARATUS FOR REDUCING CRITICAL DIMENSION VARIATION OF SIC TRENCH GATE MOSFET STRUCTURE

APPARATUS FOR TREATNG SUBSTRATE

APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE

기판 처리 장치

ION SOURCE HEAD AND ION IMPLANTATION APPARATUS INCLUDING THE SAME

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유도 결합형 플라즈마 처리 장치

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