7nm급 반도체 고효율화 CMP 연마패드 소재 및 제품화 기술 개발

2020년 03월 - 2024년 12월

고기능성 CMP Pad conditioner에 필요한 박막 소재 및 코팅 기술개발

2021년 08월 - 2024년 12월

수전해 전극 공정을 위한 저온 플라즈마 기초연구실

2022년 05월 - 2025년 02월

[RCMS] CMP 경시성 없는 Pad/Disk 개발 및 공정 기술 제안

2022년 03월 - 2024년 12월

초임계 유체 세정액 개발

2022년 03월 - 2024년 12월

극초단파 펄스형 코로나방전반응을 다단식으로 활용한 산업공정가스 및 복합악취 제거 설비 개발

2022년 03월 - 2024년 12월

클린룸에 인체 유해성 물질 관리에 대한 국제 표준 개발

산업기술평가원

2017년 04월 - 2020년 12월

기능성 카테터의 실시간,고감도 시술환경 모니터링을 위한 광섬유 센서

보건복지부

2018년 03월 - 2019년 04월

자연산화막 제거 장비 성능 향상을 위한 shower head 특성평가

링크사업단

2018년 06월 - 2018년 12월

11세대 In-Line AOI 및 Laser Repair 복합

중소기업청

2017년 06월 - 2019년 12월