대표 연구 분야
나노구조소재 합성 및 반도체 소자 공정
상세 설명
- MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) 를 이용한 2차원 소재 에피 성장 기술 연구 - ALD (Atomic Layer Deposition)를 활용한 high-k 박막 증착, Wet/Dry 방식의 2차원 소재 전사 공정을 통한 이종접합 구조 FET 소자 제작 기술 개발 - 저차원소재를 활용한 시냅스 소자 설계 및 제작 - 공동연구: 한국표준과학연구소 (KRISS ), 대학원생 파견 기회 제공 - 삼성전자, SK하이닉스 임직원의 자문 기회 제공 - 반도체 분야 고급인력양성 사업 - 주요 학문 분야: 고체역학 (Solid Mechanics), 기계공작법(Manufacturing Process & Practice), 첨단공정및응용(Advanced Manufacturing and Application), 재료과학(Materials Science)
키워드
MOCVD
Metal-Organic Chemical Vapor Deposition
2차원 소재 에피 성장
ALD
Atomic Layer Deposition
high-k 박막 증착
Wet/Dry 방식
2차원 소재 전사 공정
이종접합 구조 FET 소자 제작
저차원소재
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