대면적 고정밀 측정을 위한 3차원 형상 데이터 정합기술 표준화

한국산업기술 평가관리원

2015년 06월 - 2016년 05월

진직 구동 장치의 5자유도 랜덤 및 계통 오차 운동의 실시간 정밀 보상 제어 기술 개발

과학기술정보통신부(2017Y)

2024년 03월 - 2025년 02월

원통 부품 가공을 위한 정밀 온-머신 측정 시스템 개발

과학기술정보통신부(2017Y)

2022년 03월 - 2023년 02월

정밀 선형구동오차 보상에 의한 저가형 정밀 라인프로파일 측정시스템 개발

교육부(2013Y)

2020년 03월 - 2020년 05월

450mm 반도체 생산 공정을 위한 웨이퍼 검사기용 1 m/s, 3G급 6자유도 모션 스테이지 기술개발

산업통상자원부

2017년 06월 - 2018년 05월

450mm 반도체 생산 공정을 위한 웨이퍼 검사기용 1 m/s, 3G급 6자유도 모션 스테이지 기술개발(4차년도)

산업통상자원부

2016년 06월 - 2017년 05월

멀티프로브 기반 회전기기 오차운동 측정기 개발

교육부(2013Y)

2016년 05월 - 2017년 04월

450mm 반도체 생산 공정을 위한 웨이퍼 검사기용 1 m/s, 3G급 6자유도 모션 스테이지 기술개발(3차년도)

산업통상자원부

2015년 06월 - 2016년 05월

대면적 고정밀 측정을 위한 3차원 형상 데이터 정합기술 표준화

산업통상자원부

2015년 06월 - 2016년 05월

고속/고정밀 멀티프로브 기반 3D 형상 측정/평가 시스템

산업통상자원부

2014년 09월 - 2015년 08월