발행물
컨퍼런스
한국화학공학회
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Level set 방법을 이용한 실리콘 식각 프로파일 모사
Cl2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 ZnO박막의 식각 특성
고밀도 플라즈마 식각반응기의 Sheath Dynamics 해석
Level Set 방법을 이용한 GaN 식가 프로파일 모사
Langmuir Probe를 이용한 고밀도 플라즈마 식가 장비 진단