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Development of Microstructure in Nanostructures and Thin Films”,

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Integrated Multiscale and Multistep Process Simulation

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Simulation of Etching and Sealing of Porous Dielectrics

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실리콘의 건식식각에서 Microtrench의 생성 메카니즘

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고밀도 플라즈마를 이용한 Y-Ba-Cu-O 초전도체 식각 및 소자 제작