차세대 고종횡비 식각 공정의 난제 메커니즘 규명과 극복을 위한 연구

한국산업기술기획평가원

2024년 - 2024년 12월

증착 및 식각 공정의 디지털 트윈 기술 개발

한국핵융합에너지연구원

2023년 11월 - 2024년 10월

(2023년,국고)반도체특성화대학지원사업_동반성장형_전북대학교

한국산업기술진흥원

2023년 03월 - 2024년 02월

(4단계-4차)반도체 화학공학 교육연구단

교육부

2023년 03월 - 2024년 02월

(교비대응)2023년 반도체특성화대학사업

전북대

2023년 03월 - 2024년 02월

(4단계-3차)반도체 화학공학 교육연구단

교육부

2022년 03월 - 2023년 02월

(민간)차세대 반도체 극고종횡비 식각 공정 한계 극복 연구

한국반도체연구조합

2022년 - 2022년 12월

(민간)플라즈마실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발

한국반도체연구조합

2022년 - 2022년 12월

차세대 반도체 극고종횡비 식각 공정 한계 극복 연구

한국산업기술평가관리원

2022년 - 2022년 12월

플라즈마실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발

충남대학교산학협력단

2022년 - 2022년 12월