비필터식 Epi-SiC 기반 UVC 센서 및 ROIC 개발

중소기업기술정보진흥원

2021년 11월 - 2022년 11월

유체-입자 결합 다차원 다중 스케일 플라즈마 공정 DB 및 시뮬레이터 개발

한국핵융합에너지연구원

2021년 05월 - 2022년 05월

(민간)고종횡비 식각 공정용 실시간 공정전산모사기 및 가상 계측 방법론 개발

한국반도체연구조합

2021년 - 2021년 12월

PFC 가스 대체용 Fluoro-ether 및 Fluoro-alcohol 계열 Precursor를 이용한 식각공정 기술 개발

아주대학교산학협력단

2021년 - 2021년 12월

고종횡비 식각 공정용 실시간 공정전산모사기 및 가상 계측 방법론 개발

한국산업기술평가관리원

2021년 - 2021년 12월

(4단계)반도체 화학공학 교육연구단

교육부

2020년 09월 - 2021년 02월

(교비대응)핵심연구지원센터(Core-Facility) 조성 지원

전북대

2020년 06월 - 2021년 02월

핵심연구지원센터(Core-Facility) 조성 지원

한국기초과학지원연구원

2020년 06월 - 2021년 02월

8차(국고)미래에너지 소재·소자 사업단

교육부

2020년 03월 - 2020년 08월

(민간)10 나노급 반도체 공정 한계에 대한 전산모사 연구

한국반도체연구조합

2020년 - 2020년 05월