SK 하이닉스 & 아토믹크래프트 리서치 버추얼랩 참여

SK 하이닉스,

아토믹크래프트

2021년 09월 -

누설전류특성이 향상된 Al 도핑 SrTiO3 유전막의 원자층증착 공정 개발

2021년 06월 - 2022년 05월

[3-3차년도]비정상 성장 거동이 제한된 고유전율 SrTiO3 유전막의 원자층증착 공정 개발

2021년 03월 - 2022년 02월

[3-2차년도]비정상 성장 거동이 제한된 고유전율 SrTiO3 유전막의 원자층증착 공정 개발

2020년 03월 - 2021년 02월

[3-1차년도]비정상 성장 거동이 제한된 고유전율 SrTiO3 유전막의 원자층증착 공정 개발

2019년 09월 - 2020년 02월

서울대학교 창의인재양성 재료사업단

2014년 03월 - 2015년 02월

20nm 급 이하 디자인룰의 DRAM 소자 구현을 위한 고유전박막 원자층 증착법 기술 개발

2013년 09월 - 2014년 05월

20nm급 이하 디자인룰의 DRAM 소자 구현을 위한 고유전박막 원자층 증착법 기술 개발

2013년 09월 - 2014년 05월

축소화 한계에 영향을 받지 않는 미래 기억 소자

2013년 08월 - 2014년 07월

분자제어 기술을 통한 전자 기능 박막 제조 밑 특성 평가

2013년 07월 - 2014년 06월