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반도체 박막 공정 연구실

숭실대학교 신소재공학과

이웅규 교수

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device fabrication

memory devices

display applications

semiconductor physics

반도체 박막 공정 연구실

신소재공학과 이웅규

숭실대학교의 반도체 박막 공정 연구실입니다.

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DRAM
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Atomic layer deposition of Ru/rutile Al-TiO2/Ru layer stacks for high-performance silicon capacitors
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