반도체 박막 공정 연구실
숭실대학교 신소재공학과
이웅규 교수
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반도체 박막 공정 연구실
신소재공학과 이웅규
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대표 연구 분야
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주요 논문
115
발행물 전체보기
1
Effects of Work Function and Thermal Stability of Top Electrode Materials on Electrical Properties of ZrO2-Based DRAM Capacitors
이웅규
ELECTRONIC MATERIALS LETTERS, 2025
2
DRAM 커패시터 용 TiN 박막 전극의 스퍼터링 공정 최적화
이웅규
세라미스트, 2025
3
Atomic layer deposition of Ru/rutile Al-TiO2/Ru layer stacks for high-performance silicon capacitors
이웅규
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2025
완료된 프로젝트
30
프로젝트 전체보기
1
2025년도 신진연구자 인프라 지원사업 창의인프라 부문 선정
과학기술정보통신부, 한국기초과학지원연구원, 국가연구시설장비진흥센터(NFEC)
2025년 01월 ~
신진연구자 인프라 지원사업
창의인프라
2
신진연구자 인프라 지원사업 창의인프라 부문
과학기술정보통신부, 한국기초과학지원연구원, 국가연구시설장비진흥센터(NFEC)
2025년 01월 ~
신진연구자 인프라 지원사업
창의인프라
3
인공지능반도체 융합인력양성 사업('24)
2024년 03월 ~ 2025년 02월