혈전/색전의 형성을 정밀하게 제어할 수 있는 모사 시스템을 개발하고, 혈전/색전의 결합력, 성분, 구조 등의 다양한 특성을 평가/분석함으로써, 궁극적으로 혈전/색전의 형성 메커니즘을 규명함.
혈전
색전
바이오칩
섬모센서
음향핀셋
2
협동|
2021년 8월-2024년 12월
|1,091,100,000원
고휘도 플라즈마 이온원을 이용한 고수율 집속이온빔 컬럼 개발
본 과제는 플라즈마 이온빔 기반 이온빔 광학계와 나노 가공 공정을 위한 기초 테스트 장비 및 영상획득·가공 S/W를 개발·개선하는 연구임.
연구 목표는 (Kemcti) 기초 테스트 장비 평가로 플라즈마 이온소스·이온빔 광학계 성능을 향상하고 빔사이즈 축소, 빔 전류밀도 향상 제어영역을 도출하는 데 있음. 연구내용은 전극 shape, distance 및 인가 전압·전기장 분포해석, 집속렌즈 인가 전압·가변어퍼쳐 구경에 따른 시료 도달 전류 변화를 측정하고, 빔 블링킹 장치 운영, 이온빔 광축 얼라인먼트 방법 고안, sub-system 개선·검출기 검출력 향상·진공 파기없는 서브 챔버 제작, 200 nm spot 크기 Slope 가공으로 분석업무 지원 수행임. 기대효과는 수입 의존 집속이온빔 장비 상용화 공백을 줄이고 액체금속이온원 대체 가능 차세대 기술 및 국내 수요 니즈 대응 기반 마련, 탁월한 성능 중심의 시장 경쟁력 확보에 기여하는 데 있음.
본 과제는 플라즈마 이온소스와 이온빔 광학계를 평가·개선해 집속이온빔(FIB) 장비의 성능과 안정성을 높이고, 이를 활용한 나노 가공·분석 공정을 고도화하는 연구임.
연구목표는 (Kemcti) Test(debugging) 장비 성능평가로 성능향상 및 안정성 확보기술을 개발하고, (Kemcti-Emcrafts/Emcrafts/Seoultech) 영상획득·가공 실험 및 Pre-production 장비 제작, 개발된 플라즈모닉 메타표면 제작·비교/평가를 수행하는 데 있음. 핵심연구내용은 정량 평가지표 기반 업그레이드, 빔 인출을 위한 조건 고도화(100 nm spot 가공), 빔 블랭킹 장치 고속화, 복합공정 2nd 복합화, 수요기업 평가 기반 단동기 상용화 시스템화 반영, Au/Ag/Al·TiO2·Si 기판 메타표면 제작 및 Full wave 시뮬레이션 비교·분석임. 기대효과는 외산 의존 완화 및 차세대 액체금속이온원 대체 가능성으로 신시장 창출, 국내 장비 산업 R&D 활성화에 기여함.
