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원자층 증착법에 의한 Al2O3 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지필름의 기계적 물성에 미치는 영향
윤은영, 이우재, 장경수, 최현진, 최우창, 권세훈
한국표면공학회, 2015

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Electrical and optical properties of Ti doped ZnO films grown on glass substrate by atomic layer deposition
Wan, Z, Kwack, WS, Lee, WJ, Jang, SI, Kim, HR, Kim, JW, Jung, KW, Min, WJ, Yu, KS, Park, SH, Yun, EY, Kim, JH, Kwon, SH
MATERIALS RESEARCH BULLETIN, 2014

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Atomic Layer Deposition Assisted Pattern Multiplication of Block Copolymer Lithography for 5 nm Scale Nanopatterning
Moon, HS, Kim, JY, Jin, HM, Lee, WJ, Choi, HJ, Mun, JH, Choi, YJ, Cha, SK, Kwon, SH, Kim, SO
ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS, 2014