서울대학교 첨단융합학부 정규원 교수
정규원 연구실은 금속 산화물 표면의 산소 농도와 화학흡착 상태를 전자농도 및 전압 조건으로 재구성하여 가스 반응성을 제어하는 연구를 수행합니다. 이 기반 위에서 CO, NO2 등 표적 가스에 대한 선택성 및 저전력 구동을 고려한 박막 센서 구성을 개발하고, 센서 신호 증폭과 읽기 조건 조절을 통해 가스별 식별 신호 패턴을 추출합니다. 또한 in-memory computing 및 NVM을 포함한 센싱·연산 통합 구조로 다중 환경변수 알람과 인공 후각형 응용을 구현합니다. 한편 ALD 공정으로 형성한 HfZrO2의 사이클링 스트레스 하 스위칭 동역학과 결함 형성을 분석하여 소자 신뢰성 해석을 병행합니다.
5개년 연도별 논문 게재 수
5개년 연도별 피인용 수
금속 산화물의 산소 농도 재구성 방법 및 상기 방법을 이용한 가스 센서의 구동 방법
마이크로 히터를 갖는 가스 센서