기본 정보

PARK LAB

충북대학교 본교(제1캠퍼스) 전자공학부 박준영 교수

PARK LAB는 전자공학부에 속한 연구실로, 반도체 소자의 신뢰성과 수율 개선을 위한 다양한 연구를 수행하고 있습니다. 특히, 중수소 어닐링 기술을 활용한 반도체 소자의 성능 향상과 신뢰성 검증에 주력하고 있습니다. 최근 3년간 PARK LAB는 고압 중수소 열처리를 통한 실리콘 MOSFET 소자의 Gate Dielectric 신뢰성 개선, 저온 어닐링 공정을 통한 poly-Si TFT 반도체소자의 성능 및 신뢰성 향상, 내방사선 반도체소자 구현을 위한 시제품 제작 등 다양한 프로젝트를 성공적으로 수행하였습니다. 또한, 다수의 논문과 특허를 통해 연구 성과를 입증하고 있습니다.

대표 연구 분야 확인하기