고효율 광전소자용 반구형 구조의 제조방법

Epitaxial growth rate varying method for side surface of semiconductor pattern

반도체패턴측면의에피성장율조절방법

GAAS/ALGAAS기판을이용한양자세선제작방법

화학증착장치용히터

Heater for chemical vapor deposition equipment

半導？のメサ及びＶ溝側面のエピタクシアル層成長率調節方法

실리콘기판상에성장된GAAS에피택셜층의유기금속화학증착법에의한델타-도핑형성방법

Method for delta-doping in GaAs epitaxial layer grown on silicon substrate by metalorganic chemical vapor Method for delta-doping in GaAs epitaxial layer grown on silicon substrate by metalorganic chemical vapor deposition

Ｓｉ基板上のＧａＡｓエピタキシヤル層の有機金？化？蒸着法によるデルタ？ド？ピング層形成方法 Ｓｉ基板上のＧａＡｓエピタキシヤル層の有機金？化？蒸着法によるデルタ？ド？ピング層形成方法