발행물
컨퍼런스
Proceedings of SPIE's Far East and Pacific Rim Symposium on Smart Materials, Structures and MEMS
1970
,
Design and analysis of surface micromachined two-axes silicon yaw rate sensor
하계학술대회 논문집
마이크로머시닝 기술을 이용한 초소형 자이로센서의 연구동향
추계학술대회 논문집
진동형 각속도 센서의 모델링 및 감도해석
센서기술학술대회 논문집
Micromachined Accelerometer Fabricated by Merged Epitaxial Lateral Overgrowth of Silicon
학술발표회논문집
RGT를 검지방법으로 이용한 초소형 가속도계의 설계 및 출력특성 예상