발행물
컨퍼런스
하계학술대회논문집
1970
,
SiH2Cl2-H2-HCl 시스템에서의 실리콘 선택적 성장에 대한 표면 반응메커니즘 고찰
추계학술대회논문집
Ar+ ion laser를 이용한 단결정/다결정 Si 식각 특성 분석
The First Anglo-Korean MEMS Workshop
Micromachined Accelerometer Research Activities in Korea
1999 제1회 MEMS 학술대회 논문집
Comb drive를 이용한 microgripper 설계 및 제작에 관한 연구
표면 미세가공을 이용한 정전형 폴리실리콘 마이크로 컨베이어 시스템