[RCMS]경희대학교 산학협력단/3D DRAM용 Si/SiGe Epi 증착 공정 개발(1/3, 1/2단계)

한국산업기술기획평가원

2024년 07월 - 2024년 12월

[RCMS]㈜비아트론/기존장비 대비 200%의 고 생산성을 갖는 5nm 이하의 반도체용 다층 SiSiGe 에피택시 장비 개발(3/3)

한국산업기술기획평가원

2024년 - 2024년 12월

[RCMS]에스케이실트론 주식회사/1bnm DRAM 3xxL NAND소자용 300mm 경면웨이퍼 제조기술개발 및 200M 이상 CIS용 300mm 에피웨이퍼 제조기술개발(3/4)

한국산업기술기획평가원

2024년 - 2024년 12월

[RCMS]에스케이실트론/3nm급 시스템반도체 소자용 300mm 에피웨이퍼 제조 기술 개발(3/3, 2/2단계)

한국산업기술기획평가원

2024년 - 2024년 12월

[통합이지바로/IRIS][BP유형1]반도체 클린룸 환기 시스템에서 효율적인 입자상 물질 및 에어로졸 제거를 위한 혁신적인 전기 활성 필터 매체 개발

한국연구재단

2023년 09월 - 2024년 07월

[RCMS]㈜비아트론/기존장비 대비 200%의 고 생산성을 갖는 5nm 이하의 반도체용 다층 SiSiGe 에피택시 장비 개발(2/3)

한국산업기술평가관리원

2023년 - 2023년 12월

[RCMS]에스케이실트론 주식회사/1bnm DRAM 3xxL NAND소자용 300mm 경면웨이퍼 제조기술개발 및 200M 이상 CIS용 300mm 에피웨이퍼 제조기술개발(2/4)

한국산업기술평가관리원

2023년 - 2023년 12월

[RCMS]에스케이실트론/3nm급 시스템반도체 소자용 300mm 에피웨이퍼 제조 기술 개발(2/3, 2/2단계)

한국산업기술평가관리원

2023년 - 2023년 12월

[RCMS]에스케이실트론 주식회사/1bnm DRAM, 3xxL NAND 소자용 300mm 경면웨이퍼 제조 기술 개발 및 200M 이상 CIS용 300mm 에피웨이퍼 제조 기술 개발

한국산업기술평가관리원

2022년 09월 - 2022년 12월

[RCMS]㈜비아트론/기존장비 대비 200%의 고 생산성을 갖는 5nm 이하의 반도체용 다층 SiSiGe 에피택시 장비 개발(1/3)

한국산업기술평가관리원

2022년 04월 - 2022년 12월