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Fabrication of WO3 nanocone arrays for highly sensitive C2H6 gas sensor integrated with low powered in-plane microheater

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Metal-doped CNT 기반의 CxHy 센서 개발

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표면탄성파 기반의 C2H2 가스센서 개발

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마이크로히터와 온도센서가 집적된 SAW 기반 C2H6 센서 개발

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Al2O3 박막을 이용한 수소침투의 효과적 제어