EUV pellicle 분석기술 개발

(주)에프에스티

2022년 - 2025년

EUV PR 소재의 광 반응 mechanism 연구

SAIT(삼성종합기술원)

2022년 - 2023년

EUV용 흡수/투과 소재의 광학적 라이브러리 구축

과학기술정보통신부

2020년 - 2024년

High-resolution EUV 노광 공정을 위한 포토레지스트 후보 반응기 개발

산업통상자원부

2022년 - 2024년

극자외선 리소그래피 (EUVL)용 레지스트 및 적용공정 개발

삼성미래기술육성센터

2021년 - 2024년

광민감성 소재의 극자외선 광반응 메커니즘 분석 연구

삼성종합기술원

2021년 - 2022년

UHP급 인조흑연 전극봉 제조 공정 기술 개발

산업통상자원부

2020년 - 2021년

반도체 검사용 EUV 광원 및 장비 기술개발사업

한국연구재단

2020년 - 2022년

나노구조 분석용 와이드뷰 3차원 엑스레이 비전 장비 개발

연구성과실용화진흥원

2018년 - 2022년

애너모픽 고개구수 극자외선 노광공정용 마스크 패턴 계측 기술 개발

산업통상자원부

2017년 - 2021년