원자층 증착용 molybdenum precursor 개발 및 이를 이용한 초미세 2차원 반도체 채널 및 저저항 금속 배선 공정 개발

교육부(2013Y)

2020년 06월 - 2021년

300mm 급 플라즈마를 활용한 원자층 증착 및 에칭 장비개발

산업통상자원부

2018년 12월 - 2019년 11월

금속칼코게나이드 소재의 저온, 대면적 증착기술 개발 및 웨이퍼스케일 유연 트랜지스터 집적 연구

미래창조과학부

2018년 04월 - 2019년 02월

고집적, 나노스케일 저항성 메모리의 선택소자로 사용 가능한 negative capacitance 차세대 선택 소자 핵심 기술 개발

한국산업기술평가관리원

2018년 - 2021년 09월

300mm급 플라즈마를 활용한 원자층 증착 및 에칭 장비개발 (2차년도)

한국산업기술진흥원

2017년 12월 - 2018년 11월

이차원 나노 소재를 이용한 고감도 화학센서 개발 연구

한국과학창의재단

2016년 06월 - 2016년 11월