윤준보 교수 연구실
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3차원 금속 구조체의 형성 방법
10-2004-0043720
2004.06
나노 트랜스퍼 몰딩 및 마스터 기판을 이용한리소그래피의 방법과 나노 트랜스퍼 몰드 제조 방법
10-2004-0007126
2004.02
Three- dimensional metal devices highly suspended above semiconductor substrate, their circuit model, and method for manufacturing the same
10473555
2003.09
Micromirror actuator
10437290
2003.05
Electrostatic actuator
10194013
2002.07
미소거울 구동기
10-2002-0029546
2002.05
互い違いに配置されたカンチレバ？を用いるマイクロミラ？デバイス及びその？用素子
2002089081
2002.03
Micromirror device using interdigitated cantilevers and applications thereof
10105281
2002.03
외팔보를 이용하는 마이크로미러 디바이스
10-2002-0009989
2002.02
가변 광학 필터
10-2001-0082553
2001.12
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