발행물

전체 논문

212

181

산소 이온 빔에 의한 산화 알루미늄 박막의 식각 효과 및 정전 용량 특성에 관한 연구
조의식, 권상직
한국진공학회지, 201301

182

As 이온 주입된 비정질 탄소 박막의 마이크로플라즈마 화학기상증착법에 의한 자동 어닐링 효과에 관한 연구
조의식, 권상직
한국진공학회지, 201301

183

인라인 스퍼터 시스템을 이용한 펄스의 주파수 변화에 따른 NbOx 박막 특성에 관한 연구
오현곤, 조의식, 박정철, 조일환, 엄지미, 권상직
전기전자재료학회논문지, 201301

184

이층 박막 구조에서 ITO 전극의 레이저 직접 패터닝 시 레이저 식각 패턴 중첩 비율의 변화
권상직, 조의식, 박정철, 왕건훈
전기전자재료학회논문지, 201205

185

Properties of the Cu(In, Ga)Se-2 absorbers deposited by electron-beam evaporation method for solar cells
권상직, 조의식
CURRENT APPLIED PHYSICS, 201101

186

고효율 플라즈마 디스플레이 패널을 위한 T-형 ITO 전극의 레이저 직접 패터닝시 레이저 스캔 속도의 영향
권상직, 조의식
전기전자재료학회논문지, 201002

187

인라인 스퍼터 시스템을 이용한 공정 압력의 변화에 따른 PC 기판상의 ITO 박막특성에 관한 연구
권상직, 조의식
전기전자재료학회논문지, 200909

188

Improvement in the Setup of the Inline Sputter System and the ITO Sputtering Process by Measuring and Controlling the Base Vacuum Level
권상직
Journal of Information Display, 200812

189

Nd:YVO4 레이져 빔을 이용한 인듐주석 산화물 직접 묘화 기술
권상직
전자공학회 논문지, 200811

190

최적증착속도로 형성된 MgO를 갖는 인-라인 진공 실장된 플라즈마 디스플레이 패널의 특성에 관한 연구
권상직
전기전자재료학회 논문지, 200810