본 과제는 플라즈마 밀도를 측정할 때 기존 랭뮤어 프로브가 측정 대상에 영향을 주는 한계를 줄이고, 플라즈마 전체 특성을 더 직접적으로 파악하려는 연구임.
연구 목표는 전류 측정 중심 진단의 간접성 한계를 벗어나 플라즈마 전체 밀도와 함수 관계를 갖는 물리량을 직접 측정하는 것임. 이를 위해 1차원 플라즈마 simulation code를 Poisson equation, energy equation, continuity equation 기반으로 개발하고, 진공 챔버 설계와 압전소자 CVD 전극 증착 조건을 수립하며, 기본 및 Frequency 가변 전원 회로를 제작해 압전소자 전압 변화를 통해 최적 전극 구조·전극 간격을 제시하고 밀도-압력 모델을 제시함. 기대효과는 바이오·의료 플라즈마 응용의 정밀 진단 기술과 압전소자 핵심기술 확보 및 기술이전, 인력양성, 경제 활성화에 기여함.
본 과제는 플라즈마 진단에서 랭뮤어 프로브가 측정기기가 플라즈마에 영향을 주는 한계와 중성입자·이온 밀도 추정의 간접성 문제를 줄이기 위한 연구임.
연구 목표는 플라즈마 전체의 밀도와 함수 관계를 가지는 물리량을 더 직접적으로 측정하는 진단 방식 확립에 있음. 핵심 연구 내용은 Poisson equation, energy equation, continuity equation 기반 1차원 플라즈마 simulation code 개발, 압전소자를 박막 증착한 전극을 위한 진공 챔버 설계 및 CVD 최적 조건 산정, 기본 전원 구동 회로와 가변 주파수 회로 제작 및 압전소자 전압으로 플라즈마 밀도·압력 변화를 분석해 최적 전극 구조·전극 간격 및 최종 모델 제시임. 기대 효과는 바이오/의료 플라즈마 등 응용의 정밀 재현성 향상과 압전소자 국가 핵심요소 기술 및 인력·기술이전 기반의 산업 기여에 있음.
본 과제는 플라즈마 밀도를 랭뮤어 프로브처럼 전류만 간접 측정하는 한계를 줄이고, 플라즈마 전체 밀도와 함수 관계를 갖는 물리량을 더 직접 진단하는 연구임.
연구 목표는 전류 측정 방식의 한계를 벗어나 플라즈마 밀도와 연계된 물리량을 직접 측정하는 진단 체계를 구축하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 Poisson equation, energy equation, continuity equation 기반 1차원 플라즈마 시뮬레이션 code 개발, 압전소자 박막 증착 전극의 진공 챔버 설계 및 CVD 증착 조건 최적화, 가변 Frequency 전원 회로 제작, 최적 전극 구조 및 전극 간격 제시와 전압 변화를 통한 플라즈마 밀도·압력 모델 제시임. 기대 효과는 바이오·의료 등 정확한 재현성이 필요한 분야의 플라즈마 진단 기술 적용과 인력 양성, 기술 이전 및 수출 기여임.