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A Study on Improvement of Luminous Efficacy in AC PDP with Open Dielectric Structure
박정후, 김동현, 이호준, 이해준, 이대성, 옥정우
IDW, 200411

32

Electric field in a magnetized inductively coupled plasma
10057301
IEEE Transactions on Plasma Science, 199904

33

축 방향 자장이 인가된 용량 결합형 라디오 주파수 플라즈마의 특성 연구
10057301
대한전기학회 추계학술대회 논문집, 199901

34

헬리칼 공명 플라즈마에서 축 방향의 외부자장이 기판상의 플라즈마 밀도에 미치는 영향
10057301
한국진공학회지, 199901

35

평판유도결합형 CH4/H2/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식식각 특성
10057301
전기학회논문지, 199901

36

글로벌 모델에 의한 CF4 플라즈마에서의 라디칼 및 이온 밀도 계산
10057301
한국진공학회지, 199807

37

Observations of Silicon Surfaces Exposed to Inductively Coupled CHF3 and C4F8/H2 Plasmas Using Fourier Transform Infrared Ellipsometry
10057301
Jpn. J. Appl. Phys., 199804

38

Selective SiO2/Si3N4 etching in magnetized inductively coupled C4F8 plasma
10057301
Journal of Vacuum Science & Technology B, 199804

39

Investigations of the surface chemistry of silicon substrates etched in a rf-biased inductively coupled fluorocarbon plasma using Fourier-transform infrared ellipsometry
10057301
Journal of Vacuum Science & Technology A, 199804

40

평면형 유도결합 플라즈마의 특성및 선택적 산화막 식각 응용에 관한 연구
10057301
한국진공학회지, 199707