대량의 미세분말 코팅을 위한 인라인 스퍼터링 및 원자층 증착 복합 코팅 장비 개발

산업통상자원부

2022년 - 2022년 12월

5nm 급 이하 차세대 Logic 소자 원천요소기술개발

산업통상자원부

2021년 - 2021년 09월

고유전율 게이트 절연막의 계면 특성 및 신뢰성 향상 기술 개발

산업통상자원부

2021년 - 2021년 06월

게이트 스페이서 및 다중 패터닝 기술을 위한 SiN/SiO2 플라즈마 원자층 증착 공정 및 대체기술 개발

산업통상자원부

2020년 - 2020년 05월

원자층 증착공정을 이용한 3차원 리튬 마이크로 배터리

과학기술정보통신부(2017Y)

2019년 03월 - 2020년 02월

실리콘 태양전지 전극용 도금공정 및 소재 기술 개발

지방자치단체

2018년 - 2018년 12월

난(難)코팅성 기저재료 표면의 박막 코팅 기술 개발

미래창조과학부

2014년 09월 - 2015년 08월

난 (難)코팅성 기저재료 표면의 박막 코팅 기술 개발

교육과학기술부

2013년 09월 - 2014년 08월

그래핀을 포함한 고이동도 채널 물질 적용 공정 개발

미래창조과학부

2013년 05월 - 2014년 04월