RnDCircle Logo
엄두승 연구실
제주대학교 전자공학과 엄두승 교수
플라즈마 식각
산화물 박막
산소 공공
기본 정보
연구 분야
프로젝트
논문
구성원

엄두승 연구실

제주대학교 전자공학과 엄두승 교수

엄두승 연구실은 산화물 반도체 및 유전체 박막에서 플라즈마 처리·건식 식각이 유발하는 결함과 표면 특성 변화를 규명하고, 이를 광학 소자 및 전자 소자 공정에 활용하는 연구를 수행합니다. O2 또는 CF4 기반 플라즈마 조건을 조절하여 산소 공공과 도핑·상태 변화를 유도하고, 에칭률과 표면 거칠기, 잔류물 특성을 비교합니다. 또한 X-ray photoelectron spectroscopy, X-ray 관련 분석을 통해 박막의 화학 상태와 구조 변화를 확인하며, UV 포토디텍터 및 반사 저감 표면 구조처럼 실제 소자 적용 관점에서 성능 연동을 검증합니다.

플라즈마 식각산화물 박막산소 공공표면 분석 XPSUV 포토디텍터
대표 연구 분야
연구 영역 전체보기
산소/플라즈마 결함 제어 기반 산화물 박막 자외선 포토디텍터 연구 thumbnail
산소/플라즈마 결함 제어 기반 산화물 박막 자외선 포토디텍터 연구
Plasma defect engineering for oxide thin-film UV photodetectors
연구 분야 상세보기
연구 성과 추이
표시된 성과는 수집된 데이터 기준으로 산출되며, 일부 차이가 있을 수 있습니다.

5개년 연도별 논문 게재 수

25총합

5개년 연도별 피인용 수

428총합
주요 논문
5
논문 전체보기
1
article
|
·
인용수 2
·
2025
Plasma-driven defect modulation in ZnO thin films for superior UV sensing
Dong-Geon Lee, Jin Seo Im, Mi‐Jin Jin, Doo‐Seung Um, Chang-Il Kim
IF 4.2 (2025)
Optical Materials
https://doi.org/10.1016/j.optmat.2025.117432
Thin film
Modulation (music)
Optoelectronics
Plasma
Materials science
Optics
Nanotechnology
Physics
Acoustics
2
article
|
·
인용수 3
·
2024
Transition of Cu film to Cu2O film through oxygen plasma treatment
Qiang Liu, Ji-Yeop Kim, Mi‐Jin Jin, Doo‐Seung Um, Chang-Il Kim
IF 4.7 (2024)
Materials Chemistry and Physics
https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2024.129090
Plasma
Oxygen
Materials science
Thin film
Chemical engineering
Engineering physics
Chemistry
Nanotechnology
Physics
Engineering
3
article
|
인용수 20
·
2023
Reducing the oxygen vacancy concentration in SrTiO3-δ thin films via an optimized O2 plasma treatment for enhancing device properties
Ji-Yeop Kim, Mi‐Jin Jin, Bo Hou, Minsoo P. Kim, Doo‐Seung Um, Chang-Il Kim
IF 6.3 (2023)
Applied Surface Science
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158271
Materials science
Strontium titanate
Thin film
Fabrication
Sputtering
Oxygen
Perovskite (structure)
Oxygen sensor
Conductivity
Nanotechnology
최신 정부 과제
6
과제 전체보기
1
주관|
2020년 8월-2023년 2월
|30,000,000
인공 망막 적용을 위한 파이로-광전자 효과의 유연성 시냅스 수광소자 어레이
인공 망막은 사람 눈의 망막에 삽입되어 망막 신경절 세포(Retinal ganglion cells)를 전기적으로 자극하여, 망막을 재생하거나 전기적 신호를 뇌의 시신경으로 전달하는 역할을 한다. 따라서, 인공 망막은 쉽게 삽입이 가능하도록 매우 유연하여야 하며, 전기적 신호는 실제 시냅스의 활동 전위와 유사한 스파이크(spike) 형태가 유리하다. 또한, 인공 망막은 인체에 삽입되어 항상 동작을 하고, 실시간 반응을 해야 하는 기기로 에너지 효율이 높아야하며, 반응성 및 신호처리가 매우 빨라야하는 시스템이다. 따라서 본 연구의 목표는 인공 망막에서 요구되는 이러한 사항들을 만족할 수 있도록, pyro-phototronics 효과에 의한 자가발전·유연성 수광소자 어레이를 개발하는 것을 목표로 하며, 방대한 양의 데이터를 효과적으로 처리할 수 있는 시냅스 모방 소자로의 적용을 목표로 한다. 이를 위해 다음의 연구들을 순차적으로 진행할 계획이다. □ 자가발전 방식의 유연성 수광소자 (Ultra-flexible and Slef-powered Photodetector) 본 연구에서는 인공 망막으로 적용 가능한 pyro-phototronics photodetector의 개발을 위한 물질로 2차원의 TMDs 물질을 고려하고 있다. 2차원의 TMDs 물질은 투명하고, 높은 유연성 특성을 나타낼 뿐 아니라 광 흡수계수가 높아 수광소자로의 응용에 매우 적합하다고 알려져 있다. 우선적으로 다양한 공정 방식을 통해 MoS2, WS2 등 다양한 TMDs 물질의 pyro-phototronics 효과를 검증하고, 이를 자가발전 방식의 photodetector로의 응용에 대한 연구를 선행할 것이다. □ 시냅스 모방 수광소자 기술 (Synaptic Photodetector) 본 연구에서는 2차원 TMDs 물질을 기반으로 한 pyro-phototronics photodetector의 TMDs 층위에 V2O5 또는 ZnO Nanoparticle과 Nanowire 등을 코팅하여, TMDs 기반의 photodetector에 학습과 기억능력을 추가한 시냅스 모방 수광 소자에 대한 연구를 진행할 계획이다. 앞서 언급했듯이, pyro-phototronics photodetector는 빛의 변화에 자극을 받아 매우 급격한 스파이크 형태의 출력 신호를 보여주지만, 학습과 기억의 능력은 없을 것으로 예상한다. ZnO는 빛의 유무에 따라 O2/H2O의 분자들이 ZnO의 표면에 흡착 또는 탈착된다. 이에 따라 ZnO 표면의 energy band structure의 변화가 일어나게 되는데, O2/H2O의 흡착과 탈착 프로세스가 상대적으로 느리기 때문에, 학습과 기억의 능력을 모사할 수 있다. 따라서, TMDs층의 표면에 빛에 반응하며, 학습과 기억의 능력을 보여줄 수 있는 물질을 코팅하면, pyro-phototronics photodetector가 시냅스 특성을 갖게 될 것으로 예상한다. □ 대면적 수광소자 배열 기술 (Large area fabrication of photodetector array) 인공 망막으로 사용하기 위해서는 다양한 요소들을 만족하여야 한다. 칩이 망막에 잘 부착되기 위해서 칩의 두께는 70 μm 이하로 얇아야 하며, 전극의 크기와 전극 사이의 간격도 고려해야 한다. 특히, 수광소자의 경우는 자가발전방식이 유리하며, 각 셀당 전류의 크기는 10^-6A는 되어야 한다. 또한, 일반적인 전자소자와 다르게, 금으로 된 전극을 이식한 경우, 시간이 지남에 따라 부식되었다는 보고가 있어, 현재는 iridium oxide를 주로 사용한다. 따라서 앞서 개발된 소자 기술들을 인공 망막 영역으로 확장하기 위해서, 수광소자의 광전류 및 사이즈, 배열, 칩의 두께 등 다양한 관점에서 최적화되어야 한다. 본 연구 단계는 제안하는 연구과제의 마지막 단계로, 인공 망막에 필요한 조건들을 맞출 수 있도록 최적화할 계획이다.
초전기
초광전자
시냅스 소자
인공 망막
자가발전
수광 소자
2
주관|
2020년 8월-2023년 2월
|15,000,000
인공 망막 적용을 위한 파이로-광전자 효과의 유연성 시냅스 수광소자 어레이
인공 망막은 사람 눈의 망막에 삽입되어 망막 신경절 세포(Retinal ganglion cells)를 전기적으로 자극하여, 망막을 재생하거나 전기적 신호를 뇌의 시신경으로 전달하는 역할을 한다. 따라서, 인공 망막은 쉽게 삽입이 가능하도록 매우 유연하여야 하며, 전기적 신호는 실제 시냅스의 활동 전위와 유사한 스파이크(spike) 형태가 유리하다. 또한, 인공 망막은 인체에 삽입되어 항상 동작을 하고, 실시간 반응을 해야 하는 기기로 에너지 효율이 높아야하며, 반응성 및 신호처리가 매우 빨라야하는 시스템이다. 따라서 본 연구의 목표는 인공 망막에서 요구되는 이러한 사항들을 만족할 수 있도록, pyro-phototronics 효과에 의한 자가발전·유연성 수광소자 어레이를 개발하는 것을 목표로 하며, 방대한 양의 데이터를 효과적으로 처리할 수 있는 시냅스 모방 소자로의 적용을 목표로 한다. 이를 위해 다음의 연구들을 순차적으로 진행할 계획이다. □ 자가발전 방식의 유연성 수광소자 (Ultra-flexible and Slef-powered Photodetector) 본 연구에서는 인공 망막으로 적용 가능한 pyro-phototronics photodetector의 개발을 위한 물질로 2차원의 TMDs 물질을 고려하고 있다. 2차원의 TMDs 물질은 투명하고, 높은 유연성 특성을 나타낼 뿐 아니라 광 흡수계수가 높아 수광소자로의 응용에 매우 적합하다고 알려져 있다. 우선적으로 다양한 공정 방식을 통해 MoS2, WS2 등 다양한 TMDs 물질의 pyro-phototronics 효과를 검증하고, 이를 자가발전 방식의 photodetector로의 응용에 대한 연구를 선행할 것이다. □ 시냅스 모방 수광소자 기술 (Synaptic Photodetector) 본 연구에서는 2차원 TMDs 물질을 기반으로 한 pyro-phototronics photodetector의 TMDs 층위에 V2O5 또는 ZnO Nanoparticle과 Nanowire 등을 코팅하여, TMDs 기반의 photodetector에 학습과 기억능력을 추가한 시냅스 모방 수광 소자에 대한 연구를 진행할 계획이다. 앞서 언급했듯이, pyro-phototronics photodetector는 빛의 변화에 자극을 받아 매우 급격한 스파이크 형태의 출력 신호를 보여주지만, 학습과 기억의 능력은 없을 것으로 예상한다. ZnO는 빛의 유무에 따라 O2/H2O의 분자들이 ZnO의 표면에 흡착 또는 탈착된다. 이에 따라 ZnO 표면의 energy band structure의 변화가 일어나게 되는데, O2/H2O의 흡착과 탈착 프로세스가 상대적으로 느리기 때문에, 학습과 기억의 능력을 모사할 수 있다. 따라서, TMDs층의 표면에 빛에 반응하며, 학습과 기억의 능력을 보여줄 수 있는 물질을 코팅하면, pyro-phototronics photodetector가 시냅스 특성을 갖게 될 것으로 예상한다. □ 대면적 수광소자 배열 기술 (Large area fabrication of photodetector array) 인공 망막으로 사용하기 위해서는 다양한 요소들을 만족하여야 한다. 칩이 망막에 잘 부착되기 위해서 칩의 두께는 70 μm 이하로 얇아야 하며, 전극의 크기와 전극 사이의 간격도 고려해야 한다. 특히, 수광소자의 경우는 자가발전방식이 유리하며, 각 셀당 전류의 크기는 10^-6A는 되어야 한다. 또한, 일반적인 전자소자와 다르게, 금으로 된 전극을 이식한 경우, 시간이 지남에 따라 부식되었다는 보고가 있어, 현재는 iridium oxide를 주로 사용한다. 따라서 앞서 개발된 소자 기술들을 인공 망막 영역으로 확장하기 위해서, 수광소자의 광전류 및 사이즈, 배열, 칩의 두께 등 다양한 관점에서 최적화되어야 한다. 본 연구 단계는 제안하는 연구과제의 마지막 단계로, 인공 망막에 필요한 조건들을 맞출 수 있도록 최적화할 계획이다.
초전기
초광전자
시냅스 소자
인공 망막
자가발전
수광 소자
3
주관|
2020년 8월-2027년 8월
|454,690,000
제주 에너지신산업 고도화 혁신인재 양성 교육연구단
본 과제는 Energy 4.0 시대 산업전환에 맞춰 제주 지역 에너지신산업을 고도화할 혁신인재를 양성하는 연구임. 지자체 주도 육성 의지와 기존 인프라를 바탕으로 전문인력 부족과 지역 제약을 해결하는 목적을 가짐. 연구 목표는 개방·융합·혁신적 교육과정 구축과 지역 특성화산업 연계 문제해결형 연구수행을 통한 글로벌 핵심인재 창출에 있음. 연구 내용은 에너지 생산·저장·수요관리 전공융합 전 주기 교육과정, 탄소제로섬 2030 연계 프로젝트 기반 현장맞춤형 실증교육, 산학협력 기반 신에너지 핵심 기술개발을 수행하는 것임. 기대 효과는 통합연계형 교육 플랫폼 제시, 제주 실증사업 인재 양성, 에너지 일자리 확대 및 에너지 신산업 신규 시장 창출임.
에너지신산업
글로벌 혁신인재양성
현장 밀착형 특화교육
에너지생산
에너지저장
에너지수요관리
신재생에너지
EV 배터리
마이크로그리드
최신 특허
특허 전체보기
상태출원연도과제명출원번호상세정보
소멸2011전기기기 자물쇠1020110009897
소멸2010광기전 소자1020100068626-
소멸2010이미지 센서 및 그의 제조방법1020100063899-
전체 특허

전기기기 자물쇠

상태
소멸
출원연도
2011
출원번호
1020110009897

광기전 소자

상태
소멸
출원연도
2010
출원번호
1020100068626

이미지 센서 및 그의 제조방법

상태
소멸
출원연도
2010
출원번호
1020100063899

주식회사 디써클

대표 장재우,이윤구서울특별시 강남구 역삼로 169, 명우빌딩 2층 (TIPS타운 S2)대표 전화 0507-1312-6417이메일 info@rndcircle.io사업자등록번호 458-87-03380호스팅제공자 구글 클라우드 플랫폼(GCP)

© 2026 RnDcircle. All Rights Reserved.