제주대학교 전자공학과 엄두승 교수
Nanofabrication & Devices Lab은 첨단 플라즈마 공정과 나노패터닝 기술을 기반으로 반도체, 광전자, 유연 전자소자 등 다양한 분야의 혁신적인 전자소자 개발을 선도하는 연구실입니다. 본 연구실은 박막의 표면 및 구조적 특성을 정밀하게 제어하는 플라즈마 처리 기술을 통해, 소자의 성능을 극대화하고 새로운 기능을 구현하는 데 중점을 두고 있습니다. 산소, 플루오린, 염소 등 다양한 플라즈마를 활용한 박막 식각 및 표면 개질 연구를 통해, 트랜지스터, 광센서, 투명 전극 등 차세대 소자 개발에 필요한 핵심 기반 기술을 확보하고 있습니다. 특히, 본 연구실은 은 나노와이어, 그래핀, MXene 등 혁신적인 나노소재를 활용한 유연 전자소자 및 고성능 광전소자 개발에 주력하고 있습니다. 잉크젯 프린팅, 전사 프린팅, 필터레이션 패터닝 등 다양한 나노패터닝 공정 기술을 도입하여, 대면적·저비용·고효율의 소자 제조 공정 혁신을 추구하고 있습니다. 이를 통해 웨어러블 디바이스, 바이오센서, 인공피부 등 미래 지향적 응용 분야에서 높은 경쟁력을 확보하고 있습니다. 연구실은 플라즈마 공정의 미세 조절을 통해 박막의 표면 거칠기, 결함 밀도, 전기적 특성 등을 최적화하며, XPS, AFM, UPS 등 첨단 분석 장비를 활용해 소자의 구조적·화학적 변화를 정밀하게 평가합니다. 이러한 연구는 소자의 신뢰성, 효율성, 내구성 향상에 크게 기여하고 있으며, 실제 산업 현장에 적용 가능한 실용적 기술 개발로 이어지고 있습니다. 또한, 본 연구실은 다양한 이종 접합 구조 및 나노소자 설계를 통해 기존 실리콘 기반 소자의 한계를 극복하고, 차세대 반도체 및 광전자 소자 개발에 앞장서고 있습니다. 고감도 센서, 고효율 광전소자, 유연 전자소자 등 다양한 분야에서 세계적 수준의 연구 성과를 창출하고 있으며, 국내외 산학연 협력 및 대형 국책과제 수행을 통해 연구의 실용화와 산업화에도 적극적으로 기여하고 있습니다. Nanofabrication & Devices Lab은 미래 초연결 사회와 사물인터넷(IoT) 시대를 선도할 수 있는 혁신적인 전자소자 및 시스템 개발을 목표로, 지속적인 연구개발과 인재 양성에 힘쓰고 있습니다. 첨단 나노공정 및 소재 기술을 바탕으로, 반도체 및 전자소자 산업의 새로운 패러다임을 제시하고자 합니다.
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