강원대학교 전기전자공학과 김시준 교수
전자소자연구실은 강원대학교 전기전자공학부 소속으로, 차세대 반도체 소자 및 융합 전자소자 기술 개발을 선도하는 연구실입니다. 본 연구실은 강유전체 HfO2 기반의 차세대 메모리 소자, 산화물 반도체 박막 트랜지스터, 인쇄 및 플렉서블 전자소자, 바이오센서 등 다양한 분야에서 세계적 수준의 연구를 수행하고 있습니다. 특히, 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 기술을 활용한 초박막 강유전체 박막의 공정 최적화, 저온 공정 및 BEOL 호환성 확보, 머신러닝 기반 공정 분석 등 첨단 연구를 통해 DRAM, FRAM, 인메모리 컴퓨팅 등 차세대 메모리 응용에 필요한 핵심 기술을 개발하고 있습니다. 또한, IGZO, In-Ga-Zn-O 등 산화물 반도체를 이용한 박막 트랜지스터의 전기적 특성 향상, 플렉서블 및 인쇄전자 소자 개발, 대면적 특성 평가 등 실용화에 가까운 연구도 활발히 진행 중입니다. 바이오센서 분야에서는 FET 기반 DNA 바이오센서, 라벨프리 전기적 검출 시스템, 플렉서블 바이오센서 등 바이오-전자 융합 소자 연구를 통해 스마트 헬스케어, 질병 진단 등 다양한 실용적 응용 분야로 연구를 확장하고 있습니다. 저온 용액공정, 나노소재 응용, 다층 박막 구조 등 다양한 소재 및 공정 기술을 융합하여 고감도, 고신뢰성, 저비용 바이오센서 플랫폼을 개발하고 있습니다. 연구실은 국내외 주요 학술지 및 학회에서 다수의 표지 논문, 우수 논문상, 특허 출원 및 등록 등 탁월한 연구성과를 창출하고 있으며, 삼성전자, SK하이닉스, Tokyo Electron Korea 등 국내외 반도체 및 전자소자 기업과의 산학협력, 정부 및 연구재단 프로젝트 수행을 통해 실질적인 기술 이전과 산업적 파급효과를 실현하고 있습니다. 앞으로도 전자소자연구실은 반도체 소자, 융합 전자소자, 바이오센서 등 다양한 분야에서 창의적이고 혁신적인 연구를 지속하여, 차세대 정보기술 및 바이오헬스 산업 발전에 기여할 것입니다.
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