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유한요소법을 이용한 수직형 하이브리드 연삭시스템의 베드 정특성 해석

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A Study on the Characteristics of a Wafer Final Polishing process at Various Machining and Temperature Variation

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Active vibration contral of Hollow shaft with magntorheological elastomers

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12인치 웨이퍼 폴리싱 장비의 구조해석 및 최적 가공 조건 선정에 관한 연구

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유한요소법을 이용한 수직형 하이브리드 연삭시스템의 구조해석