연구 영역
대표 연구 분야
본 연구실의 핵심 연구 역량과 전문 분야
공기 터널 구조 기반 GaN 화학적 리프트오프 템플릿 제작 연구
패턴 사파이어 기판 위에서 공기 터널 구조를 형성해 염액 침투와 박리 효율을 높이고, GaN 템플릿의 결정·광학 특성을 규명하는 연구
논문2
특허0
프로젝트0
패턴 기판에서의 GaN 선택적 성장 및 마스크프리 공정 연구
AlN 버퍼의 결정 방향·표면에너지 차이를 활용해 PP-PSS/CrN 버퍼 위 국부 선택적 성장을 재현하고, 마스크 없이 마이크로로드를 제어하는 연구
논문3
특허1
프로젝트0
버퍼층·표면 패시베이션을 통한 GaN 에피택셜 품질 제어 연구
SiO2 마스크와 CrN 버퍼, ALD ZnO 패시베이션을 조합하여 GaN의 결정성·응력·계면 거동을 제어하는 연구
논문3
특허0
프로젝트0