발행물
컨퍼런스
한국정밀공학회 춘계학술대회
2023
,
멀티프로브 오차분리 시스템의 영점 설치 오차 정밀 측정 기술
2022
라인 프로파일 측정을 위한 멀티프로브 오차분리 시스템의 영점 설치 오차 보상을 위한 정밀 캘리브레이션 기술
한국정밀공학회 2022 춘계학술대회
원판의 5 자유도 회전 오차 운동 보상을 위한 측정 기술 연구
한국정밀공학회 2021 추계학술대회
2021
원판의 Wobble 오차 운동 보상을 위한 멀티프로브 오차분리기술
Combined Three-probe 오차분리기술 기반 라인 프로파일 측정 오차 분석