폴리싱 공정의 자동화를 위한 실리콘웨이퍼의 형상 추정 및 분류에 관한 연구

토지평가 모형 개발에 관한 방법론

저주파 필터를 이용한 Wegmann 방법의 개량에 관한 연구

실리콘웨이퍼 사이트의 두께 추정에 관한 연구

웨이퍼 모형추정 및 분류시스템 개발에 관한 연구

보간법에 의한 실리콘웨이퍼 단면도 추정

Spline 보간법에 의한 실리콘 웨이퍼 단면도 추정

Wegmam법에 의한 수치등각사상의 오차평가

Hubner 방법에 기초한 수치등각사상의 자동화 알고리즘

실리콘웨이퍼 형상추정에 관한 연구