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957

861

사점굽힘시험법을 이용한 이종절연막(Si/SiO2┃Si3N4/Si) SOI 기판쌍의 접합강도 연구
이상현, Ohsung Song
한국재료학회지 - 등재, 2002

862

유리/실리콘 기판 직접 접합에서의 세정과 열처리 효과
민홍석, Joo Young Chang, Ohsung Song
전기전자재료학회논문지, 2002

863

Effect of ICP plasma oxidation time on tunneling magnetic junction
10055561
journal of applied physics, 2002

864

절연막층의 플라즈마 산화시간에 따른 CoFe/AlO/CoFe/NiFe 구조의 터널자기저항 효과 연구
Young Min Rhee, Ohsung Song
전기전자재료학회논문지 - 등재, 2002

865

선형가열기를 이용한 Si∥SiO2/Si3N4∥Si 이종기판쌍의 직접접합
이상현, 이상돈, Ohsung Song
전기전자재료학회논문지 - 등재, 2002

866

Direct bonding of Si∥SiO2/Si3N4∥Si wafer pairs with a Fast Linear Annealing
10055561
materials science in semiconductor processing, 2002

867

2단계 AlOx 절연층 공정에서 하부절연층의 산화시간에 따른 터널자기저항 특성연구
10055561
한국재료학회지 - 등재, 2002

868

Defect study of crystallized amorphous Co-rich magnetic alloy
Hee‐Moon Kyung, Hyung S. Ahnn, Chong Seung Yoon, C.K. Kim, Ohsung Song
Materials Science and Engineering B, 2002

869

전기로를 이용한 Si/SiO/SiN/Si이종기판쌍의 직접접합
10055561
한국재료학회지 - 등재, 2002

870

절연막층의 플라즈마산화시간에 따른 CoFe/AlO/CoFe/NiFe구조의 터널자기저항효과
10055561
전기전자재료학회논문지 - 등재, 2002