초정밀 반도체 3차원 형상 측정을 위한 하이브리드 간섭계 개발

산업통상자원부

2024년 09월 - 2024년 12월

차세대 advanced packaging을 위한 광학 검사/계측 기술 개발

과학기술정보통신부

2024년 05월 - 2025년 04월

머신러닝과 20 ㎛ 스팟을 겸비한 300 mm 웨이퍼용 OCD 계측장비 개발

산업통상자원부

2024년 - 2024년 12월

편광 메타 렌즈 기반 단일 영상 파면 측정, 분석 연구

과학기술정보통신부

2023년 03월 - 2024년 02월

회절한계 이하 150 nm 분해능 미세패턴 실시간 2D 3D 계측기술 개발

산업통상자원부

2023년 - 2023년 12월

3차원 좌표측정이 가능한 스마트 변위 및 두께 측정 센서

중소벤처기업부

2022년 05월 - 2023년 05월

기하 위상 렌즈 모듈 및 알고리즘 개발

과학기술정보통신부

2022년 - 2022년 12월

유연 소자의 실시간 다층 박막 형상 구조 분석 연구

한국연구재단

2021년 03월 - 2021년 05월

(사업비)2021년 연구기반활용플러스사업

(사)한국산학연협회

2021년 02월 - 2022년 12월

(운영비)2021년 연구기반활용플러스사업

(사)한국산학연협회

2021년 02월 - 2022년 12월