기본 정보

주기남 연구실

조선대학교 광기술공학과 주기남 교수

주기남 연구실은 광기술공학 분야에서 세계적인 수준의 정밀 광계측 및 광학 이미징 기술을 연구하는 선도적 연구실입니다. 본 연구실은 광학 간섭계, 구조화 조명 현미경, 편광 기반 계측 시스템 등 첨단 광학 기술을 바탕으로, 반도체, 디스플레이, 정밀 기계, 바이오 등 다양한 산업 분야에서 요구되는 초정밀 계측 솔루션을 개발하고 있습니다. 특히, 백색광 주사 간섭계, 이중 저간섭성 간섭계, 분산 간섭계 등 다양한 광학 간섭계 시스템의 설계와 구현에 강점을 가지고 있으며, 기하 위상 렌즈, 편광 격자, 메타 렌즈 등 혁신적인 광학 소자를 활용하여 기존 계측 기술의 한계를 극복하고 있습니다. 이를 통해 3차원 형상, 박막 두께, 표면 거칠기, 자유 곡면 등 복잡한 시료의 정밀 측정이 가능하며, 단일 영상 기반의 실시간 계측, 자동 초점 조절, 머신러닝 기반 데이터 분석 등 최신 트렌드를 반영한 연구를 활발히 수행하고 있습니다. 연구실은 다수의 국내외 특허와 SCI급 논문, 산학협력 프로젝트를 통해 그 연구 성과를 인정받고 있습니다. 최근에는 반도체 3차원 형상 측정용 하이브리드 간섭계, 차세대 패키징을 위한 광학 검사/계측 기술, 머신러닝 기반 웨이퍼 OCD 계측장비 등 국가적 전략 산업과 연계된 대형 연구과제를 성공적으로 수행하고 있습니다. 또한, 국제 학회 및 국내외 컨퍼런스에서 활발한 발표와 교류를 통해 연구의 국제적 위상도 높이고 있습니다. 주기남 연구실의 연구는 산업 현장의 실질적 문제 해결과 미래 산업의 혁신을 동시에 추구합니다. 정밀 계측 기술의 고도화와 광학 이미징 시스템의 혁신을 통해, 반도체, 디스플레이, 바이오, 나노소자 등 첨단 산업의 품질 향상과 공정 최적화에 크게 기여하고 있습니다. 앞으로도 본 연구실은 차세대 광기술의 발전을 선도하며, 학계와 산업계 모두에 혁신적인 연구 성과를 제공할 것입니다.

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