조선대학교 광기술공학과 주기남 교수
주기남 연구실은 편광 기반 간섭계, 분광 간섭계, 타원계측, 색공초점 및 구조화 조명 현미경 등 광학 계측 기술을 중심으로 파면·표면 형상·거칠기·박막 두께·웨이퍼 상태를 정밀하게 측정하는 연구를 수행하며, 최근에는 딥러닝과 머신러닝을 접목한 단일영상 고속 계측과 반도체 advanced packaging 및 HBM 공정을 위한 인라인 검사 장비 개발까지 확장하고 있다.
간섭계와 FPM을 이용한 미세홈 측정시스템
층밀림 간섭계를 이용한 거칠기 측정 장치 및 방법
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치