| 상태 | 출원연도 | 과제명 | 출원번호 | 상세정보 |
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| 상태 | 출원연도 | 과제명 | 출원번호 | 상세정보 |
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층밀림을 이용한 파면 측정 장치 및 이를 이용한 측정 방법
회전체의 회전 운동 모션을 측정하는 방법 및 장치
대상물의 형상을 측정하는 방법 및 장치
박막두께 측정장치
실시간으로 자동 초점이 가능한, 측정 대상물의 입체형상을 측정하는 입체형상 측정장치
간섭계와 FPM을 이용한 미세홈 측정시스템
층밀림 간섭계를 이용한 거칠기 측정 장치 및 방법
층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치
층밀림을 이용한 파면 측정 장치 및 이를 이용한 측정 방법
회전체의 회전 운동 모션을 측정하는 방법 및 장치