간섭계와 FPM을 이용한 미세흠 즉정시스템

층밀림 위상차 영상 획득 모듈 장치

층밀림을 이용한 파면 측정 장치 및 이를 이용한 측정 방법

회전체의 회전 운동 모션을 측정하는 방법 및 장치(METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING ROTATIONAL MOTION OF ROTATING BODY)

기하 위상 렌즈를 기반으로 하는 색공초점 센서

파면을 측정하기 위한 장치 및 이를 이용한 측정 방법

대상물의 형상을 측정하는 방법 및 장치(METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SHAPE OF TARGET OBJECT)

박막두께 측정장치(Thin film thickness measuring device)

3D 형상 측정을 위한 편광 패턴 조사 현미경

복굴절 매질을 이용한 층밀리기 간섭계 기반의 실시간 자유곡면 3차원 형상 측정장치 및 측정방법