반도체 소자 및 반도체 소자 제조방법(SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF)

나노갭이 조절된 기판 및 이의 제조방법(adjusted nano-gap substrate and fabricating method for the same)

플라즈모닉 광흡수체 및 이의 제조방법(plasmonic absorber and fabricating method for the same)

복수의 나노갭이 형성된 기판 및 이의 제조방법(substrate which have multiple nano-gaps and fabricating method for the same)

클리닝 가스 순환 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비(Cleaning gas circulating apparatus, Chemical Vapor Deposition equipment and Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition equipment)

가동 스테이지 구동 장치, 증착 장비 및 상압 화학기상증착 장비(Moving stage driving apparatus, Chemical Vapor Deposition equipment and Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition equipment)

박막 태양전지 및 그 제조방법(THIN-FILM SOLAR CELL AND METHOD OF FABRICATING THE SAME)

캐필러리부가 구비된 판상형 전극을 이용한 롤투롤 플라즈마 처리 시스템(Plasma processing roll-to-roll system using plate electrode with capillary)

캐필러리부가 구비된 복수의 회전전극을 이용한 롤투롤 플라즈마 처리 시스템(Plasma processing roll-to-roll system using rotating electrodes with capillary)

캐필러리부가 구비된 하나의 회전전극을 이용한 롤투롤 플라즈마 처리 시스템(Plasma processing roll-to-roll system using a rotating electrode with capillary)