[민간] 공정장비 이상 진단을 위한 Static Dynamic Plasma 센서 Network 기술 개발

산업통상자원부

2024년 - 2024년 12월

공정장비 이상 진단을 위한 Static Dynamic Plasma 센서 Network 기술 개발

산업통상자원부

2024년 - 2024년 12월

Low frequency capacitively coupled plasma 측정 기술 개발

교육부(2013Y)

2023년 06월 - 2023년 11월

고신뢰성 전자에너지분포함수 측정 기술 개발 및 공정 플라즈마 측정 데이터베이스 구축

과학기술정보통신부(2017Y)

2022년 11월 - 2023년 10월

상용 핵융합 장치용 높은 공간 시간 분해능을 갖는 플라즈마 진단 원천기술 개발

지방자치단체

2022년 04월 - 2022년 12월

EUV 마스크용 Metal Oxide Carbon Layer Strip공정 및 상용화 장비 개발

산업통상자원부

2022년 - 2022년 12월

NAND (200단급) 고종횡비 식각용 스마트 플라즈마 장비기술 개발

산업통상자원부

2022년 - 2022년 12월

[민간] NAND(200단급) 고종횡비 식각용 스마트 플라즈마 장비기술 개발

산업통상자원부

2022년 - 2022년 12월

디스플레이 공정에서 플라즈마 밀도 및 전자온도 분석을 위한 플라즈마 센서 모듈 개발

산업통상자원부

2022년 - 2022년 12월

2020년 제조 중소기업 혁신바우처 사업

중소벤처기업부(2017Y)

2021년 03월 - 2021년 04월