발행물

전체 논문

166

91

수소 열처리에 따른 구리 박막의 응집 거동 현상
임재원, 0, 0
대한금속·재료학회지, 200409

92

SIMS와 GDMS를 이용한 구리와 탄탈 박막내의 주요불순물 분석
임재원, 0
한국진공학회지, 200406

93

Application of glow discharge mass spectrometry for direct trace impurity analysis in Cu films
임재원, K. Mimura, M. Isshiki
Applied Surface Science - 직접입력, 200404

94

Agglomeration of copper thin film in Cu/Ta/Si structure
임재원, 배준우, K. Mimura, M. Isshiki
Materials Transactions - 직접입력, 200403

95

이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석
임재원, 0, 0
한국진공학회지, 200403

96

기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상
임재원, 0
대한금속·재료학회지, 200402

97

기판 바이어스에 의해 증착된 Ta확산방지막의 열적 안정성
임재원, 0, 0
대한금속·재료학회지, 200311

98

Ta 확산방지막 특성에 미치는 기판 바이어스에 관한 연구
임재원, 0, 0
한국진공학회지, 200309

99

비질량분리형 이온빔증착법에 의한 ULSI금속배선용 구리박막에 관한 특성연구
임재원, 0
대한금속·재료학회지, 200309

100

Thinkness dependence of resistivity for Cu films deposited by ion beam deposition
임재원, K. Mimura, M. Isshiki
APPLIED SURFACE SCIENCE, 200307