초미세 금속 배선에서 두께 감소로 인한 저항 증가 문제를 해결하기 위해 ALD/PEALD로 MoCx, Ru 등의 초극박막을 증착하고, 공정 조건과 반응/핵생성 거동을 제어해 연속막과 저저항을 구현하는 연구

초극박막에서 유전율과 누설 특성을 동시에 확보하기 위해 고유전율 소재와 강유전 초극박막 공정을 개발하고, 전극·유전체 어셈블리와 계면/결정화를 제어해 3D DRAM 집적 성능을 향상하는 연구

2차원 반도체의 대면적 원자층 증착과 소재 상(phase) 제어를 기반으로 트랜지스터 성능을 구현하고, 주석계 유기·무기 하이브리드 기반 포토레지스트와 2D 금속 황화물의 결정 상을 제어해 소자 공정성을 확보하는 연구