이웅규 교수 연구실
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Superlattice films for photonic and electronic devices
US11658213B2
2023.05
ルテニウム酸化物薄膜の成膜方法
特願2025-085992
2차원 전자 가스를 포함하는 반도체 소자 및 이의 제조 방법
10-2025-0057257
TiN 타겟을 이용한 RF 스퍼터링 기반 커패시터 전극 및 이 의 제조 방법
10-2025-0054579
금속 공정 후 열처리가 적용된 MIM 커패시터 및 이의 제조 방법
10-2025-0054588
원자층 식각 공정을 이용한 3차원 반도체 소자의 제조 방법
10-2025-0048290
MIM 커패시터 및 이의 제조 방법
10-2025-0036388
멤리스터 소자 및 이의 제조 방법
10-2025-0027947
캐패시터
10-2024-0025081