유봉영 교수 연구실
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스프레이 노즐이 결합된 롤투롤 전해 증착 방법 및 장치
10-2016-0048166
2016.04
레이저와 스트레스막을 이용한 초박형 실리콘 기판 제조 방법
10-2015-0135477
2015.09
초박형 실리콘-금속 이종 접합 기판 제조 방법
10-2015-0135486
2015.09
실리콘 기판의 표면 박리 방법
PCT/KR2015/006180
2015.06
크롬을 사용하지 않은 인쇄롤 및 그 제조방법
10-2015-0084874
2015.06
TSV용 비아 충전 방법 및 이를 이용한 3차원 적층 반도체 패키지 제조 방법
10-2015-0056939
2015.04
금속 분말 제조방법 및 제조장치
10-2014-0140636
2014.10
코팅층 형성방법 및 이 방법으로 형성된 코팅층
10-2014-0140638
2014.10
실리콘 표면 에칭방법 및 시드층 형성방법
10-2014-0140637
2014.10
실리콘 기판의 표면 박리 방법
10-2014-0140639
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