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마이크로 포스트 어레이와 리플 형상 나노 패턴을 기반으로 한 마이크로/나노 복합구조 표면의 소수성 평가

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SiOG 뚜껑기판을 이용한 주석 리플로우 기반 RF MEMS 실장 구조의 설계 및 제작

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알루미나 나노와이어 기반 마이크로/나노 복합구조의 제작

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Low damage and anisotropic dry etching of high-k dielectric HfO2 films in inductively coupled plasmas

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Comparison of chlorine- and fluorine-based inductively coupled plasmas for dry etching of ZnO films