주요 특허
Te 도핑된 p형 MoS2 필름이 적용된 pFET 디바이스
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등록출원연도
2021출원번호
1020210153254다층 저항-열전식 온도측정 웨이퍼 센서 및 그 제조방법
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2017출원번호
1020170024523열전효과를 이용하는 온-웨이퍼 전력공급장치 및 그 제조방법
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2016출원번호
1020160136445고정확 실시간 미세 입자 크기 및 개수 측정 장치
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2016출원번호
1020160077117다층 저항식 다점 온도측정 웨이퍼 센서 및 그 제조방법
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2016출원번호
1020160059678